欧洲杯体育频频静电卡盘名义材料分为氧化铝陶瓷与氮化铝陶瓷两种-kaiyun(开云)官方网站 登录入口

2月5日音书，据《日经新闻》报说念，专家第三大陶瓷卫浴居品制造商——日本TOTO通过利用其在陶瓷材料领域的专科学问，一经在半导体制造所需的“静电卡盘”（Electrostatic Chucks，或称E-CHUCK、ESC）阛阓获得了成功。

报说念称，TOTO 与半导体关连的业务最早可回顾至1980年代，那时TOTO就有为半导体产业开荒高性能精密陶瓷居品，其中最主要的居品即是“静电卡盘”。可是，该业务多年无利可图，但跟着连年来半导体阛阓的简洁发展，该业务的利润在2022财年运行大幅增长，并平凡应用在先进半导体出产当中。

说明TOTO公布的2024财年前三季（2024年4月-12月）财报自大，前三季TOTO的包括半导体业务在内的“新领域”业务营收达到了344亿日元（约合2.25亿好意思元或16.36亿元东说念主民币），同比增长31.8%，买卖利润达142亿日元（约合0.93亿好意思元或6.75亿元东说念主民币），同比暴涨84.4%。

TOTO的“新领域”业务主要包括：陶瓷业务和环境建材业务。陶瓷业务主如果指以陶瓷组件为基础，如陶瓷半导体、光通信配置等。而环境建材业务主如果出产一些陶板、镜片等。其中，以静电卡盘为代表的与半导体关连的陶瓷业务连年来成为了“新领域”业务的主要营收及利润孝顺起头。

TOTO预测，其半导体业务本年的买卖利润将卓越 1 亿好意思元。

什么是静电卡盘？

在好多的半导体制造过程中，频频需要卡盘来对晶圆进行固定，以便进行加工、测量、安设等操作。卡盘不错说明其使命旨趣、结构格式、夹紧形式等方面的不同，分为多种类型，常见的卡盘类型包括：机械卡盘、真空卡盘、静电卡盘等。其中静电卡盘由于其对工件挫伤小、精度高级特质，被平凡控制于半导体制造工艺等需要精密加工的场景。

具体来说，静电卡盘是利用静电吸附旨趣将待加工晶圆吸附在其名义，况且不错通过背吹气体来戒指晶圆名义温度的部件。静电卡盘可适用于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆承载体，在半导体制造中是薄膜配置、刻蚀机、离子注入机、量测配置等高端装备的中枢部件。

△当正本里面电荷均匀溜达的工件接近通电的静电卡盘后，其里面正负电荷将折柳移动至与其极性相背的电极一端。通过电荷异性相吸产生的库仑力，工件将紧紧吸附于静电卡盘的名义。按照吸附旨趣的不同，静电卡盘可分为库仑型（Coulomb type）与 J-R 型（Johnsen-Rahbeck type）。

当代半导体制造过程中包含晶圆的光刻、清洗、氧化、刻蚀、薄膜千里积等繁多的行径，每个行径中又波及到多种工序，这其中离子掺杂、离子注入、物理气相千里积（PVD）、化学气相千里积（CVD）等工序均需要保证晶圆的稳固定定并确保最低进程的沾污，因此大皆需要静电卡盘来进行固定。

诚然深紫外光（DUV）光刻并未用到静电卡盘，因为DUV光刻是在常压或浸没式液体环境下进行，是以通过晶圆下方的真空系统即可保管晶圆的平整度与固定，但是EUV光刻则有所不同，其接纳的是波长极短的13.5nm光源，特别容易被收受，因此必须在高真空环境下运行，为幸免EUV明后被收受，芯片制造商也采用接纳静电卡盘来取代真空吸盘，因为静电卡盘更适用于这种环境。此外，静电卡盘能提供更清静的吸附力，缩小变形进程，晋升图层瞄准（Overlay）及临界尺寸（Critical Dimension，CD）戒指的精度。

频频静电卡盘名义材料分为氧化铝陶瓷与氮化铝陶瓷两种，其中氧化铝陶瓷由于其工艺较为简陋，因此在现在的静电卡盘阛阓中应用最为平凡。但跟着半导体工艺对静电卡盘散热性能的条目抑遏提高，导热性能更好的氮化铝陶瓷上风安详理解。相较于主流的氧化铝陶瓷，氮化铝陶瓷领有更好的导热性能、热扩张统共、机械性能、绝缘性，因此更适协手脚半导体工艺的静电卡盘材料。

由于氮化铝的迥殊性（其属于共价化合物，自扩散统共小），方正的氮化铝粉末在频频的烧结温度下很难烧结得到大约的组织，从而会影响静电卡盘的导热性能。现在主要的惩处决策是通过在氮化铝粉末烧结时加入某些烧结助剂（如 CaO、Y2O3 等）促进氮化铝的烧结作用，从而提高氮化铝陶瓷的导热性。跟着氮化铝陶瓷烧结工艺的抑遏越过，异日氮化铝陶瓷的静电卡盘有望安详对氧化铝陶瓷的静电卡盘竣事替代。

静电卡盘阛阓步地：好意思国及日本厂商操纵

静电卡盘是半导体制造工艺配置中价值量占比相对较高的中枢零部件。据拓荆科技招股评释书自大，2019 年至 2021Q1-Q3 静电卡盘所属的机械类零部件占拓荆科技中枢原材料采购额比重保管在 25%以上，且一直处于扫数零部件大类采购额比重的第一位。机械类零部件主要包括静电卡盘、加热盘、腔体等，其中静电卡盘的价值量相对较高。据珂玛科技公告，静电卡盘占刻蚀机原材料采购老本的12.7%。

现在，专家静电卡盘阛阓主要被好意思日韩等企业所操纵，主要供应商包括好意思国应用材料（AMAT）、泛林集团（Lam Research），日本新光电气（Shinko Electric Industries）、TOTO、日本陶瓷概括制造商（NTK CERATEC）、京瓷、日本碍子，韩国的MiCo、AEGISCO、KSM、LK ENGINEERING等公司。据 QYResearch 数据，应用材料、泛林集团、Shinko 折柳占据了 2021 年专家静电卡盘阛阓销售额前三位，阛阓份额折柳为43.86%、31.42%、10.20%。

不外，需要指出的是，日韩企业静电卡盘基本采用的是单独售卖的销售模式，而好意思国的静电卡盘企业频频皆是概括性的半导体配置制造商，他们通过将静电卡盘与所出产的 PVD、CVD 等半导体配置整机配套售卖的形式将静电卡盘销售至下搭客户。同期由于静电卡盘使用寿命频频不卓越两年，属于破费品，因此对静电卡盘的替换也将孝顺可不雅的销售收入。

中国脉土的静电卡盘供应商主要有瑞耘科技广东海拓改进、君原电子、华卓精科、苏州珂玛科技、中瓷电子和中山念念考电子，但举座阛阓份额皆特别小。值得一提的是，2025年1月17日，江丰电子与KSTEINC.签署了《对于静电吸盘款式之协作框架公约》。江丰电子将从KSTE引进商定范围的静电卡盘居品所需的一齐出产时刻并采购关连出产线，最终竣事公司在中国大陆地区落寞量产。KSTE认真向江丰电子提供全过程时刻援手，并认真推敲出产线的假想和委派。

从阛阓范畴来看，说明QYResearch的预测数据自大，2022-2028 年专家静电卡盘阛阓销售额将由 17.9 亿好意思元增长至 24.1 亿好意思元，年复合增长率为 5.1%。

不外，说明珂玛科技招股书自大，2023年专家静电卡盘阛阓范畴保守算计为36~42亿元，其中中国大陆阛阓为7~8亿元。

TOTO何如矫正静电卡盘时刻？

从时刻方面来看，静电卡盘所使用的高性能陶瓷诚然鉴定，但容易变脆，是以陶瓷材料必须兼具强度与抗裂性，而TOTO控制常年制造马桶及陶瓷卫浴居品所需的陶瓷成型与烧成时刻，不错制造出抗裂的均质陶瓷材料。

据了解，TOTO接纳了高耐等离子体性 Al2O3 材料竣事了静电卡盘居品的高耐用性，并竣事了低后头颗粒沾污。TOTO 的静电卡盘还不错说明客户的条目戒指晶圆温度。这些皆归功于TOTO在陶瓷材料领域多年的假想和量产制造能力。

△等离子体照耀查抄示例：TOTO 的材料 （AP900R） 比典型的高纯度 Al2O3（纯度 99.9%）具有更高的耐等离子体性

当TOTO领先进入半导体产业时，曾一度濒临要紧挑战。该公司最早供应结构性零部件，但销售发达欠安，自后则在静电卡盘领域获得了一定成功，但由于良率过低，导致产能无法无礼阛阓需求。

TOTO曾使用高精密显微镜查抄马桶名义，找出并修正轻细缺欠，明慧污垢附着，以晋升品性。当TOTO的静电卡盘居品出现良率过低时，其将换取时刻应用于检测静电卡盘，发现居品上存在有化妆品粉末等异物颗粒影响了良率，由于那时大部分的出产使命仍依赖于东说念主工，加上无尘室尺度较低，是以最终影响了居品品性。

最终，TOTO通过其在陶瓷卫浴业务上的时刻训诲，成功找出了问题所在，并矫正了这些存在问题的行径，最终竣事了良率的大幅晋升。

为了巩固本人的市局势位，TOTO在陶瓷材料制造方面参预了多数资金。2020年，TOTO斥资118亿日元在日本大分兴修陶瓷出产设施。在2020年4月到2024年4月时候，该公司的陶瓷出产职工加多了约20%。说明TOTO总裁Noriaki Kiyota客岁10月电话会议的说法，TOTO还正在探讨建新工场的缠绵。

现在，TOTO将目力投向切割和封装等下流制程，如3D堆叠时刻条目基板材料接纳新时刻。TOTO 陶瓷业务企划部司理Junji Kameshima指出，异日陶瓷将在半导体后段制程配置中被应用到更多场合。

在2024财年，TOTO 预测其与半导体关连的陶瓷部门的买卖利润将达到200亿日元（约1.3亿好意思元），买卖利润率接近40%，远高于公司举座7%买卖利润的预期。TOTO运筹帷幄是在2026财年该部门的买卖利润达到250亿日元，并扩大居品组合以匡助清静该业务。

现在，TOTO 已将住宅配置业务和中国业务的利润从头投资于陶瓷时刻中，跟着日本住房阛阓萎缩、中国经济放缓之际，AI、数据中心与电子配置需求激增，推进TOTO在半导体领域的投资加多。

TOTO总裁Kiyota也强调，即使有起有落，半导体业务毫无疑问会抓续成倍成长。

包袱裁剪：落木

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